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SEC-400MK3質量流量計


概要
       MARK3系列是在未改变质量流量计的品质特性的条件下实现成本减少的量产在线爱。材质和泄漏規格则与一般型号在线爱的SEC-400、SEC-500系列相同。主要用途为制程用的气体流量控制、关注于重复性以及限定气体的种类、流量进行大量在线爱、实现了大幅度的成本下降。适合于定流量、长时间的稳定控制重复控制的场合。而且也同样适用于研究所的简易流量控制。

特征
       搭载热感阀
       实现成本减少

規格
       SEC-400MK3
       气体接触部材质:SUS-316、氟化橡胶
       阀门类型:NO:非通电时:开
       标准流量量程:10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5
       SLM :空气、N2、O2、Ar、H2、He
       流量控制范围:百分之五以上的FS(满量程)
       流量精度:±百分之二的FS(满量程)
       SEC-500MK3
       气体接触部材质:SUS-316、氟化橡胶
       阀门类型:NO:非通电时:开
       标准流量量程:10/20
       SLM:空气、N2、O2、Ar、H2、He
       流量控制范围:百分之五以上的FS(满量程)
       流量精度:±百分之二的FS(满量程)

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